電子行業生產工藝過程產生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節能措施也是行業特點之一，排放前要做處理，使排風負荷環保要求。
電子行業生產工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求高：
1.電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態)：不應大于65dB(A)
2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。
3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
4.電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的值：
5.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6.保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。