在精密機械零部件加工過程中，為了提高氣浮導軌的運動性能，可以采用以下三種方法。首先是提高導軌在承載方向上的剛度，導軌結構設計上采用閉式導軌，這比單面可提高剛度2倍；減小氣浮間隙；并增大力封閉，氣源需穩壓供氣、清潔供氣，減小可能發生的振蕩因素。
在供氣回路中要設計載荷補償機構及自動調壓裝置使氣浮間隙變化很小，壓力彈簧和滾輪控制氣浮間隙；或者合理布局氣墊讓其自動平衡調整，對高精度測量機，氣浮的精度應在0.001-0.002mm以內。
其次可以提高導軌運動時的阻尼力，氣墊的孔越多阻尼力越大，剛性也越大，如果采用粉末治金多孔材料作為氣墊，用大面積的微孔代替小孔節流氣墊，阻尼力會更大。在精密機械零部件加工允許的情況下，可以采用氣-液雙相潤滑，由于導軌接觸面上有油膜存在而增加了阻尼力。
還可以采用半氣浮導軌的結構形式，坐標機為氣浮導軌和機械導軌相結合的形式，利用了兩種導軌運動特性的優點，不僅提高了抗端動的能力，又保持了氣浮導軌間隙恒定，且增加了導軌運動的阻尼力，從而提高了導軌的運動性能。
通常精密機械零部件加工，機床不適合在污濁和高溫潮濕的環境中工作，電網供電環境也有較高的要求，機床供電電壓不應劣于±10%，三相應平衡穩定。過于惡劣的電網必須加裝穩壓電源，機床除正常的保持整潔和潤滑以外，還必須用心維護及其的各個部件。