顆粒度
粒度越大的氧化鈰，磨削力越大，越適合于較硬的材料，ZF玻璃應該用偏細的拋光粉。要注意的是，所有的氧化鈰的顆粒度都有一個分布問題，平均粒徑或中位徑D50的大小只決定了拋光速度的快慢，而粒徑Dmax決定了拋光精度的高低。因此，要得到高精度要求，必須控制拋光粉的顆粒。
硬度
拋光粉的真實硬度與材料有關，如氧化鈰的硬度就是莫氏硬度7左右，各種氧化鈰都差不多。但不同的氧化鈰體給人感覺硬度不同，是因為氧化鈰拋光粉通常為團聚體，附圖為一個拋光粉團聚體的電鏡照片。由于燒成溫度不同，團聚體的強度也不一樣，因此使用時會有硬度不一樣的感覺。當然，有的拋光粉中加入氧化鋁等較硬的材料，表現出來的磨削率和耐磨性都會提高。