超純水
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超純水是指電阻率為18 mΩ*cm(25℃)的水。超純水是純度的水.這是一種工業用水,用于集成電路行業清洗半導體原料和器具,制備光刻掩模和硅片氧化的水蒸氣來源。超純水也用于其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等
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