德國KNF 的N86KTE,N86KNE 兩種隔膜式真空泵廣泛應用于CEMS 系統上，國內80%以上CEMS均采用以上兩種泵。N86KTE 泵膜采用耐腐蝕泵膜，壽命更長。另外德國SP 公司的SPV-700 隔膜式真空泵也廣泛用于CEMS 系統上。
一、技術特點：
1、無污染傳輸，無油，免維護
2、可以24小時連續運轉
3、可以任意方向安裝
4、低能耗
5、氣密性高，低噪音，低震動
6.尺寸小，重量輕，性能高
二、技術參數：
抽氣量：6l/min
轉速：1420rpm
真空度：100mbar
輸出壓力：0.5bar
電壓：220VAC/0.6A50HZ
功率：60W
電機：230VAC/50Hz 0.3A