CEMS稀釋采樣探頭音速小孔玻璃小孔：
稀釋系統采用特的現場樣品預處理的氣體采集方式。在采樣探頭頂部，通過一個音速小孔進行采樣，并用干燥的儀表空氣在探頭內部進行稀釋。樣品氣進入分析儀之前不需要除濕處理，因為樣品氣經過稀釋后（稀釋比通常選擇在25：1至250：1之間），有效地降低了樣品的露點溫度，使之安裝地的環境低溫度，從而避免了樣品氣在環境溫度下產生的結露現象；另一方面，樣品氣雖然經過稀釋，但仍為帶濕氣體，測量過程是典型的濕法測量。
為恒定的稀釋比，熱電探頭設計采用特的音速小孔設計：
當系統能夠滿足設定的小真空度要求時，音速小孔兩端的壓差將大于0.5倍，此時通過音速小孔的氣體流量將是恒定的，溫度，壓力的變化不會影響稀釋比。這就使得整個探頭的流量控制是靠氣動來完成的，因而無需任何電源和電路，具有體積小、安裝簡單、維護方便的特點。
對臨界小孔（音速小孔）的解釋：理論上小孔壓縮長度比其直徑小，臨界小孔的下游壓力與上游壓力之比小于或等于0.53時會產生臨界流速，通過小孔的體積流量與上下游壓力無關：它只由氣體速度決定，接近聲速。臨界小孔由硼硅酸鹽耐熱玻璃制成，高工作溫度可達650度。