超純水系統是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。 一般超純水系統是經由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產生的超純水。
超純水初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，更沒有、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
超純水系統組成：標準組件
1、超凈過濾器裝置，濾筒
2、活性碳，清除無機、有機微量污染的離子交換樹脂(核級別)和吸附器樹脂
3、過濾器，氣孔大小0.2μm
超純水系統可安裝成臺式或墻式，組成如下:
1、數字顯示外殼
2、低噪聲輸送、循環泵
3、高純水抗壓減壓器
4、塑料螺線管閥，用作自動沖洗閥
5、PVDF 排除活栓、0.2μm過濾器
6、對所有送水零件進行
7、所有送水組件均用聚或高質量天然物質制成
8、除熱源
9、UV裝置，分解有機物，有效波長185nm/254nm
安裝了過濾器裝置的TKA高純水系統生產出的高純水幾乎不含TOC。由于采取了不同的高純制備措施，因而盡可能減少了有機和無機成分。接線迅速接合，過濾器裝置安裝非常簡單。