PFA花籃（PFA wafer Cassette）又名清洗花藍 ，特氟龍卡匣 ，特氟龍晶舟盒 ，特氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。
主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進入化學酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
二、參數
名稱
規格
耐溫性
應用
PFA花籃
PP Cassette
2寸
-200~260℃
酸堿傳輸制程
4寸
6寸
三、特點
1.耐腐蝕：耐受強酸強堿
2.搭配可活動把手，用于晶圓芯片清洗運輸
3.耐高低溫：-200~260℃
4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關；
5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染
7.化學性能穩定
公司擁有三十多年PFA制品生產加工經驗，公司投入大量人力、物力致力于太陽能光伏相關產品的研發，截止目前，公司推出的光伏用--太陽能硅片花籃，太陽能硅片承載器,硅片花藍,,半導體清洗花籃。