凈室的定義為：將空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔凈的環境。亦即：這個環境中的微塵粒子相當少，稱之為凈室。凈室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業，例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、和醫院內的手術室等行業等，其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內，才不會對制程產生影響。作為生產設施，凈室可以占據廠房很多位置。
凈室系統，制造匹配規格之潔凈空氣，連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內的制造區（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經過凈室系統各種處理單元設備之處理后進而得到匹配規格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經由外氣空調箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經由回風管道間（Mech. Chase），將凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格，透過循環風扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動凈室的氣流循環帶走微塵及熱量，后經過超高性能過濾網（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾后，供應至Fab區。
空調系統24小時全天運轉并監控管理半導體工廠部分制程設備，對溫濕度變化極為敏感，如黃光區Stepper光學機臺，些微的溫、濕度變化均會使設備的準度偏差，另外芯片等產品也必須置放在定溫定濕的環境下，故空調系統必須24小時監控管理之。
工業廠房，指直接用于生產或為生產配套的各種房屋，包括主要車間、輔助用房及附屬設施用房。凡工業、交通運輸、商業、建筑業以及科研、學校等單位中的廠房都應包括在內。工業廠房除了用于生產的車間，還包括其附屬建筑物。