科探標(biāo)準(zhǔn)復(fù)合分子泵機(jī)組是一臺(tái)清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識(shí)原理，利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng)，具有啟動(dòng)時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測(cè)量系統(tǒng)、真空室、閥門(mén)及真空管路、電器控制系統(tǒng)等
技術(shù)參數(shù)：
控制方式
手動(dòng)控制/自動(dòng)控制切換
前級(jí)泵接口
KF25（客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級(jí)泵）
分子泵
FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分
分子泵抽氣速率
140L/S
分子泵啟動(dòng)時(shí)間
≤2min
空載極限壓強(qiáng)
≤1X10-4Pa
真空測(cè)量方式
冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管
真空測(cè)量范圍
1E﹢2到1E-5 Pa
真空測(cè)量精度
1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性：±5%
抽氣接口
KF25
閥門(mén)類型
KF25手動(dòng)擋板閥
系統(tǒng)電源
AC220V
系統(tǒng)功率
≤1KW
環(huán)境溫度
5~32℃
冷卻方式
強(qiáng)制風(fēng)冷卻
濕度
≤80%RH
外形尺寸
250 X360 X 300mm （寬-深-高）
重量
25KG
隨機(jī)配件：KF25高真空擋板閥X1個(gè) KF25卡箍X3個(gè) kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說(shuō)明書(shū)X1本 電源線x1根 冷陰極真空計(jì)X1個(gè)