氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用普瑞公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，不同底氣的樣品的進樣量。
氪分析用氦離子色譜儀參考：GB/T 5829-2006氪氣項目
指標
高純氪
純氪
一等品
合格品
氪氣（Kr）（體積分數）/10-2
≥
99.999
99.995
99.99
氮（N2）（體積分數）（N2）/10-6
≤
2
8
20
氧（O2）+氬（Ar）（體積分數）/10-6
≤
1.5
5
5
氫（H2）（體積分數）/10-6
≤
0.5
1
2
一氧化碳（CO）（體積分數）/10-6
≤
0.3
0.4
1
二氧化碳（CO2）（體積分數）/10-6
≤
0.4
0.8
1
甲烷（CH4）（體積分數）/10-6
≤
0.3
0.8
1
水分（H2O）（體積分數）/10-6
≤
2
3
5
氙氣（Xe）（體積分數）/10-6
≤
2
20
50
氟化物（CF4）（體積分數）/10-6
≤
1
10
15