1.準備材料：
《商標使用許可備案表》：可從國家知識產權局商標局官網下載或在商標局注冊大廳領取。
許可人和被許可人的身份證明文件（如企業營業執照副本復印件、個人身份證復印件等）。
商標注冊證原件及復印件。
商標使用許可合同原件或經公證的復印件。合同內容應包含許可使用的商標信息、許可使用的商品或服務范圍、許可使用期限、許可使用方式等明確條款。
如果委托商標代理機構辦理，還需提交《商標代理委托書》。
2.提交申請：將準備好的申請材料提交給國家知識產權局商標局。可以通過以下方式提交：
直接到商標局注冊大廳辦理。
委托商標代理機構辦理。
通過商標局官網的網上服務系統在線提交申請（部分地區支持）。
3.形式審查：商標局對申請材料進行形式審查，主要檢查申請材料是否齊全、填寫是否規范等。如果申請材料存在問題，商標局會通知申請人在規定期限內補正。申請人未在規定期限內補正的，商標局將不予受理其備案申請。
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4.繳納費用：商標許可備案申請需要繳納一定的費用，如果委托商標代理機構辦理，還需要支付一定的代理費。
5.實質審查：形式審查通過后，商標局進行實質審查，主要審查商標使用許可合同是否符合法律規定，許可使用的商標是否在有效期內，許可使用的商品或服務范圍是否與商標注冊證上核定的范圍一致等。
6.核發備案證明：經審查合格后，商標局會在商標局網站上將該商標的許可備案情況予以公告，公告期為3個月。在公告期內，任何人都可以對該商標的許可備案提出異議。公告期滿無異議的，商標局會核發《商標使用許可備案通知書》。
實際的商標許可備案流程可能會因具體情況而有所不同，例如在審查過程中如果遇到問題，可能會需要申請人進一步提供材料或進行說明。如果對商標許可備案流程不熟悉，建議委托專業的商標代理機構辦理，以確保備案過程的順利進行。