LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業，對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。
主要性能指標：
外型形式：臥式1—4管結構，水平爐管
工作溫度：200℃—1100℃
恒溫區長度：≥600mm
硅片規格：適用于2—6英寸硅片以及碎片
恒溫區精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內)
單點溫度穩定性、重復性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內)
溫度過沖平衡：載料進爐，溫度平衡到工藝時間，低于10分鐘
工藝氣體及控制：氮氣、氧氣，MFC或浮子流量計控制
氣路系統氣密性：1×10-7PaM3/S
送料機構：懸臂石英桿載料，手動
報警系統：工藝氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
控制方式：工控機總程控制、觸摸屏控制