化合物半導體器件
場景：用于制造銦鎵砷（InGaAs）、銦磷（InP）等化合物半導體芯片，廣泛應用于 5G 通信基站、雷達、光纖通信等高頻電子設備。
作用：提升器件的高頻性能和可靠性，是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
精密制造與特殊材料領域
1. 高端軸承與涂層
用途：在航空發動機、精密機床的軸承表面濺射銦涂層，降低摩擦系數，提高潤滑性能和抗磨損能力。
場景：飛機渦輪軸承、光刻機精密運動部件等。
2. 低熔點合金與焊料
成分：銦與錫、鉛、鎵等金屬組成的共晶合金（如 In-Sn 合金，熔點約 118℃）。
應用：用于電子元件的低溫焊接、熱敏感器件的封裝，以及核工業中的熔斷保護裝置。
真空系統維護
腔體清潔：每次濺射后及時清理腔體內壁及基片臺的銦沉積層（銦延展性強，易粘附在腔體表面，長期積累可能導致短路或影響真空度）。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭，或用軟質刮刀輕輕刮除（避免損傷腔體涂層）。
真空泵保養：定期更換真空泵油（因銦蒸氣可能污染泵油，建議每 200 小時檢查一次），防止油液粘度升高影響抽氣效率。
靶材回收與再利用
回收價值：報廢銦靶（含濺射過程中產生的碎屑、廢膜）可通過化學溶解（如鹽酸溶解）、電解精煉等工藝回收銦金屬（回收率可達 95% 以上），降低生產成本。
環保要求：回收過程中產生的廢水需處理至重金屬排放標準（如銦離子濃度≤0.1 mg/L），避免環境污染。
