在實際生產(chǎn)中，ITO靶材通常被加工成圓形或矩形的塊狀，與濺射設備配合使用。濺射過程中，靶材的質(zhì)量直接影響薄膜的均勻性、附著力和性能。因此，高質(zhì)量的ITO靶材不僅是技術要求，更是生產(chǎn)效率和產(chǎn)品可靠性的保障。
盡管制備方法看似成熟，但實際操作中仍有不少難題需要攻克：
成分配比的性：氧化錫的摻雜量通常控制在5-10%之間，過高會導致透明度下降，過低則影響導電性。如何在微觀尺度上實現(xiàn)均勻混合，是一個技術挑戰(zhàn)。
靶材密度：低密度靶材在濺射時容易產(chǎn)生顆粒飛濺，導致薄膜出現(xiàn)缺陷。提高密度需要優(yōu)化壓制和燒結(jié)條件，但這往往伴隨著成本的上升。
微觀結(jié)構的控制：靶材內(nèi)部的晶粒大小和分布會影響濺射的穩(wěn)定性。晶粒過大可能導致濺射不均，而過小則可能降低靶材的機械強度。
熱應力管理：在高溫燒結(jié)過程中，靶材可能因熱膨脹不均而產(chǎn)生裂紋，影響成品率。
這些難點要求制造商在設備、工藝和質(zhì)量控制上投入大量精力。
制備完成后，ITO靶材在實際應用中還會遇到一些問題：
濺射不均勻：如果靶材內(nèi)部存在微小缺陷或成分偏差，濺射過程中可能出現(xiàn)局部過熱，導致薄膜厚度不一致。
靶材破裂：在高功率濺射時，靶材承受的熱應力可能超出其極限，造成破裂，進而影響生產(chǎn)線的連續(xù)性。
資源限制：ITO靶材依賴銦這種稀有金屬，而銦的全球儲量有限，價格波動較大。這不僅推高了成本，也促使業(yè)界尋找替代方案。
銦回收具有重要的環(huán)保和經(jīng)濟效益。通過回收廢舊靶材中的銦，可以減少對新資源的開采，降低環(huán)境污染，實現(xiàn)資源的可持續(xù)利用。此外，回收銦還能穩(wěn)定市場供應，降低生產(chǎn)成本，促進相關產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。
