在實際生產中,ITO靶材通常被加工成圓形或矩形的塊狀,與濺射設備配合使用。濺射過程中,靶材的質量直接影響薄膜的均勻性、附著力和性能。因此,高質量的ITO靶材不僅是技術要求,更是生產效率和產品可靠性的保障。
目前,ITO靶材的制備主要有兩種常見方法:熱壓燒結法和冷等靜壓法。
熱壓燒結法
工藝流程:將氧化銦和氧化錫粉末按比例混合后,放入模具,在高溫(1000-1500°C)和高壓(幾十到幾百兆帕)下壓制成型。高溫使粉末顆粒熔融結合,形成致密的靶材結構。
優點:這種方法制備的靶材密度接近理論值(通常超過99%),晶粒分布均勻,適合高精度鍍膜需求。
缺點:設備復雜,能耗高,生產成本較高。
適用場景:高端電子產品,如智能手機、平板電腦的顯示屏制造。
銦回收具有重要的環保和經濟效益。通過回收廢舊靶材中的銦,可以減少對新資源的開采,降低環境污染,實現資源的可持續利用。此外,回收銦還能穩定市場供應,降低生產成本,促進相關產業的可持續發展。
ITO靶材的應用主要集中在以下幾個領域:
顯示技術:ITO薄膜用于LCD、OLED等顯示器件中的透明電極,確保設備既能透光顯示圖像,又能導電傳輸信號。
觸控技術:電容式和電阻式觸摸屏使用ITO作為電極材料,其透明性和導電性決定了觸控設備的靈敏度和視覺效果。
光伏技術:ITO薄膜作為太陽能電池的前電極材料,具有高透明性,能夠保證光線有效進入吸收層,從而提升光電轉換效率。
智能建筑與汽車應用:智能窗、加熱膜等系統中也使用ITO薄膜,其良好的導電性和耐環境穩定性使其在智能玻璃和汽車加熱玻璃等應用中表現出色。

