AXCELIS GSD200 離子注入機通訊控制板維修 電路板維修
常用的生產(chǎn)型離子注入機主要有三種類型：低能大束流注入機、高能注入機和中束流注入機，如下所示：
低能大束流離子注入機，0.2keV~100keV，超淺結(jié)、源漏注入、多晶硅柵注入等
高能離子注入機，~MEV，深埋層等
中束流離子注入機，幾百keV，柵閾值調(diào)整、輕摻雜漏區(qū)、SIMOX、Cut穿透阻擋層等
低能大束流離子注入機：大束流的注入機的束流可以達(dá)到幾毫安甚至幾十毫安。低于100keV，由于器件的特征尺寸不斷縮小，需要更低能的注入，以形成淺結(jié)或超淺結(jié)，有的大束流的注入機的低能可以達(dá)到0.2keV。